2試験評価技術 / プロセス・加工 T-5 2020 エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成 技術のポイント エアロゾルデポジション(AD)法を用いたセラミックス膜の常温形成技術 エアロゾルデポジション装置 AD法の特徴 原料粉末 アルミナ膜の微細組織 アルミナ膜の結晶配向性 適用分野 ・耐プラズマ性膜、絶縁膜 ・各種セラミックス膜の形成 ・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成