8試験評価技術 / 微構造解析
T-38
2020
EBSD-EDS同時取得による結晶方位、相・多形分離解析技術
技術のポイント
従来のEBSD法では結晶相分離が困難な材料系に対して、EDS元素分析との組み合わせで相・多形分離解析が可能
保有設備
・電解放出走査電子顕微鏡 JSM-7800F PRIME(日本電子製)
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System(TSL製)
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300(日本電子製)
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System(TSL製)
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300(日本電子製)
解析事例 ~Si中に存在するSiCの結晶相・多形分離解析~
IQ-map
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1.EBSD測定のみでの相・多形分離解析結果
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2.EBSD測定時に同時取得したEDS元素情報での相分離解析結果
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SiもしくはSi-C成分領域に分離。しかしEDS情報のみではSiCは3Cと6H分離が困難
3.EBSD+EDSの複合解析による相・多形分離解析結果
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通常のEBSDやEDS測定のみでは困難であった結晶相・多形分離に成功
適用分野
・微小領域での結晶系解析
・結晶相分離解析
・結晶多形分離解析
・結晶方位分布解析
・結晶歪分布解析
・結晶粒径分布解析