7試験評価技術 / 微構造
T-37
2021
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積層構造体の断面SEM観察用試料調製技術
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技術のポイント
高度な微構造観察を可能にする試料調整を提供
高精度なだけでなく測定目的に最適な試料調整方法を提案
保有技術
・機械研磨(砥粒種:ダイヤモンド、コロイダルシリカ等)
・凍結割断(液体窒素)
・Arイオンミリング(CP)装置(表面、断面、冷却、大気非曝露)
・凍結割断(液体窒素)
・Arイオンミリング(CP)装置(表面、断面、冷却、大気非曝露)
試料調製対応例
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活用/成果例
試料調製の異なるGFRP基板の断面SEM観察比較
Ar断面イオンミリング(CP)調製
GFおよび樹脂の分布状態や空隙等が明瞭に観察可能。各相の面積割合や繊維径測定、各種分析に対応可能な平坦な面を取得
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凍結割断調製
GFの表面凹凸が観察可能
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適用分野
・積層構造体の断面SEM観察・解析
・粉末や繊維の断面SEM観察・解析
・後方散乱電子回折(EBSD)用試料調製
・エネルギー分散型X線分析(EDS)用試料調製 等