7試験評価技術 / 微構造
T-39
2021
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EBSD-EDS同時検出による結晶方位および相分離解析技術
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技術のポイント
従来のEBSD法では結晶相分離が困難な材料系に対して、EDS元素分析と組み合わせることで相分離解析が可能
保有設備
・電界放出型走査電子顕微鏡 JSM-7800F Prime(日本電子製)
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System(TSLソリューションズ製)
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300(日本電子製)
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System(TSLソリューションズ製)
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300(日本電子製)
活用/成果例
Ni/NiCu合金/Cu/NiCu合金/Ni金属シートを樹脂で張り合わせた構造体のEDS元素マッピングおよび結晶相分離、結晶方位解析
1. EBSDのみでの解析結果
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NiとCuおよびNiCu合金は結晶構造(cubic)および空間群(Fm-3m)が同一のため、同様の菊池パターンが形成される。
また、格子定数によってバンド幅は異なるが、変異量が微小であるため区別が困難
EBSD解析では同一の結晶構造を有する組織の相分離は困難
2. EBSD-EDS同時検出による複合解析結果
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EBSD-EDS複合解析を行うことで同一結晶構造組織の相分離に成功
適用分野
結晶化合物全般を対象に
・微小領域での結晶系解析
・結晶相分布解析
・結晶方位分布解析
・結晶粒径分布解析
・結晶歪分布解析