7試験評価技術 / 微構造
T-43
2021
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電子線ホログラフィーによる半導体、磁性体、電池材料の観察
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技術のポイント
機能性材料(半導体、磁性体、電池等)内部の電位分布や磁束分布を定量的に観察、in situ/operando 観察も可能
保有技術
ホログラフィー電子顕微鏡
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電圧印加用TEM試料作製技術と特殊TEMホルダー
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・デバイスへの電圧印加を可能にする特殊なTEM試料作製技術を保有
・TEM内でデバイスを動作させながら、in situ/operando観察可能
・磁場印加、光照射、加熱、冷却中の電磁場変化も観察可能
・Li濃度変化も電子エネルギー損失分光法を用いて観察可能
活用/成果例
半導体への応用
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ホログラフィーで電位の変化を観察
S.Anada et al., J. Appl. Phys., 122 (2017) 225702.
磁性体への応用
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磁束分布を可視化
Y.Kimura et al., Nat. Commun. (2013)
電池材料への応用
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Y.Nomura et al., Nat. Commun. (2020)
適用分野
・GaAs、GaN、SiC、酸化物半導体内部の電位分布観察や動作時の直接評価
・磁性体内部の磁束分布観察や磁場印加時の直接評価
・電池材料の電位分布観察、Li濃度分布観察や充放電時の直接評価