3研究成果 / 先進微構造解析・処理技術
R-15
2022
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卓上型走査電子顕微鏡を用いた電子線誘起蒸着システムの構築
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アピールポイント
安価な卓上型SEMによる任意の形状・サイズでの材料創製
【技術シーズ:電子線誘起蒸着法】
課題
・電子線誘起蒸着法は基板上にガスノズルから供給される原料(前駆体)となる揮発性有機金属化合物を電子線により堆積させる手法
・汎用的に電子線誘起蒸着法を行える装置は少なく、酸化物などへの適用実績が極めて少ないのが現状で、潜在的な応用が見いだせていない。
解決手段
・汎用性の高い安価な卓上型SEMを用いることで様々な物質を任意の形状・サイズに堆積させることができる電子線誘起蒸着システムを構築
成果・新規性
・市販されている卓上型SEMにガスインジェクション機構を実装することで、自由度の高い電子線誘起蒸着法ができるシステムを構築
・電子線誘起蒸着法で初めて酸化ハフニウムの堆積に成功
・実験方法:走査電子顕微鏡 、電子線誘起蒸着法
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白い領域が酸化ハフニウム
→ 任意のサイズで堆積可能
→ 任意のサイズで堆積可能
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期待される市場・応用
・電子デバイス、酸化物エレクトロニクス 等
謝 辞:本研究は、JSPS科研費(JP19H02606)、住友財団、大倉和親記念財団、池谷科学技術振興財団の研究助成において実施されたものである。