6試験評価技術 / 微構造解析
T-41
2022
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先進分析TEM JEM-F200のご紹介
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技術のポイント
極低倍から原子レベルまで同一のTEMで微構造観察・元素分析が可能な汎用TEM
装置概要
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日本電子(JEOL) JEM-F200
主な仕様
《TEM本体》収差補正器なし
・電子銃:Cold-FE電子銃
・TEM分解能:0.23 nm(構造像)@200 kV
・STEM分解能:0.16 nm@200 kV
・加速電圧: 200 kV、120 kV、80 kV、60 kV
《各種検出器》
・EDS検出器:日本電子 JED-2300 SDD
100 mm2 ×2本 (1.7 sr)
・EDSアナライザー:Thermo Scientific Pathfinder
・カメラ:Gatan Oneview CMOS
・STEM明視野/暗視野検出器、反射電子検出器
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適用分野
・TEM/STEM観察全般
・高感度EDS元素分析
・オープンラボ利用、単発の機器利用にも対応