6試験評価技術 ／ 電子顕微鏡
T-37
2024
EBSD-EDS同時検出による結晶方位および相分離解析技術
技術のポイント
従来のEBSD法では結晶相分離が困難な材料系に対して、EDS元素分析と組み合わせることで相分離解析が可能
保有装置
・電界放出型走査電子顕微鏡 JSM-7800F Prime（日本電子製）
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System（TSLソリューションズ製）
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300（日本電子製）
・結晶方位解析装置 Digiview V EBSD System（TSLソリューションズ製）
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300（日本電子製）
活用／成果例
Ni/NiCu合金/Cu/NiCu合金/Ni金属シートを樹脂で張り合わせた構造体のEDS元素マッピングおよび結晶相分離、結晶方位解析
1. EBSDのみでの解析結果
NiとCuおよびNiCu合金は結晶構造（cubic）および空間群（Fm-3m）が同一のため、同様のEBSDパターンが形成される。
また、格子定数によってバンド幅は異なるが、変異量が微小であるため区別が困難
また、格子定数によってバンド幅は異なるが、変異量が微小であるため区別が困難
EBSD解析では同一の結晶構造を有する組織の相分離は困難
2. EBSD-EDS同時検出による複合解析結果
EBSD-EDS複合解析を行うことで同一結晶構造組織の相分離に成功
適用分野
結晶化合物全般を対象に
・微小領域での結晶系解析
・結晶相分布解析
・結晶方位分布解析
・結晶粒径分布解析
・結晶歪分布解析